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當前位置:首頁產品中心干燥箱系列HMDS真空鍍膜機/真空烘箱
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干燥箱系列
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真空干燥(vacuum drying)
HMDS真空鍍膜機/真空烘箱,在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。
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